シリコンウェーハおよび光学ガラス研削用ガーネット微粉末の特性
シリコンウェーハおよび光学ガラス研削用のガーネットマイクロパウダーには、次の特性があります。
1. 物理的特性
高硬度・高靭性
ガーネットは中程度の硬度(モース硬度7.5~8.0)を持ち、耐摩耗性と低脆性を備え、研削時の破損率を低減し、耐用年数を延ばします。 密度は4.2g/cm³に達し、粒子とエッジが鋭く、研削効率を向上させます。
均一な粒度分布
ガーネットマイクロパウダーの粒度仕様はW63からW5までをカバーし、高精度研削要件を満たすためにニーズに応じてカスタマイズできます。
2. 化学的安定性
ガーネットは化学的性質が安定しており、遊離シリコンや重金属などの有害成分を含まず、ISO 11126などの国際規格に準拠しており、加工面の汚染を防ぎます。
3. プロセスの利点
低い破損率とリサイクル性
ガーネットは破損率が低く、5〜10回リサイクルできるため、使用コストを削減できます。
低粉塵と環境保護
ガーネット微粉末は製造中に複数回の水洗浄工程を経ており、粉塵含有量が極めて低く、比重が高く沈降が速いため、作業中の粉塵が低減します。
4. 応用効果
ガーネット微粉末は、シリコンウェーハや光学ガラスレンズなどの精密機器の研削に適しており、傷のない高平滑な表面を実現します。
また、サンドブラスト研磨、砥石・エメリークロス製造などの分野でも利用されており、金属、プラスチック、セラミックスなど、様々な材料に適しています
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注:ガーネットマイクロパウダーは、高い粉砕効率、環境保護、コスト管理性などの総合的な性能上の利点により、半導体および光学産業で広く使用されています
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